Simulation, fabrication and characterization of NMOS transistor
This thesis explains the recipe module development for the first Long Channel NMOS transistor device fabrication process at cleanroom laboratory of KUiTTHO. A recipe for the NMOS transistor fabrication process has been successfully produced. Threshold Voltage and Leakage Current, with different cha...
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | أطروحة |
| اللغة: | الإنجليزية الإنجليزية الإنجليزية |
| منشور في: |
2006
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://eprints.uthm.edu.my/2223/ |
| Abstract | Abstract here |
