Mask design, fabrication and test NMOS transistor

Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyele...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Sahdan, Mohd Zainizan
Format: Thesis
Language:English
English
English
Published: 2004
Subjects:
TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering
TK7800-8360 Electronics
Online Access:http://eprints.uthm.edu.my/7682/
Abstract Abstract here
_version_ 1855520719232827392
author Sahdan, Mohd Zainizan
author_facet Sahdan, Mohd Zainizan
author_sort Sahdan, Mohd Zainizan
description Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyelesaiannya dengan menggunakan filem transparency yang mempunyai panjang saluran daripada 250um bingga maksimum 20um telah dihasilkan. Sebanyak 4 empat top eng telah direkabentuk dalam perisian AutoCAD 2002 drawing tools dan telah dicetak ke atas filem transparency. Kaedah contact printing digunakan untuk memindahkan bentangan topeng ke atas silicon waftr 4 inci menggunakan teknik standard photolithography untuk memastikan keseragamanlapisan. Proses fabrikasi MOSFET dilakukan selepas kesemua parameter dioptimumkan.Selepas MOSFET selesai dihasilkan, probe station dan MOSFET characterization analyzer software digunakan untuk menganalisa ciri-ciri MOSFET. Set topeng yang digunakan daIam projek ini adalah praktikal untuk tujuan pendidikan dan MOSFET yang dihasilkan juga berfungsi seperti yang dikehendaki.
format Thesis
id uthm-7682
institution Universiti Tun Hussein Onn Malaysia
language English
English
English
publishDate 2004
record_format EPrints
record_pdf Restricted
spelling uthm-76822022-09-12T01:00:18Z http://eprints.uthm.edu.my/7682/ Mask design, fabrication and test NMOS transistor Sahdan, Mohd Zainizan TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering TK7800-8360 Electronics Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyelesaiannya dengan menggunakan filem transparency yang mempunyai panjang saluran daripada 250um bingga maksimum 20um telah dihasilkan. Sebanyak 4 empat top eng telah direkabentuk dalam perisian AutoCAD 2002 drawing tools dan telah dicetak ke atas filem transparency. Kaedah contact printing digunakan untuk memindahkan bentangan topeng ke atas silicon waftr 4 inci menggunakan teknik standard photolithography untuk memastikan keseragamanlapisan. Proses fabrikasi MOSFET dilakukan selepas kesemua parameter dioptimumkan.Selepas MOSFET selesai dihasilkan, probe station dan MOSFET characterization analyzer software digunakan untuk menganalisa ciri-ciri MOSFET. Set topeng yang digunakan daIam projek ini adalah praktikal untuk tujuan pendidikan dan MOSFET yang dihasilkan juga berfungsi seperti yang dikehendaki. 2004-10 Thesis NonPeerReviewed text en http://eprints.uthm.edu.my/7682/1/24p%20MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN.pdf text en http://eprints.uthm.edu.my/7682/2/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20COPYRIGHT%20DECLARATION.pdf text en http://eprints.uthm.edu.my/7682/3/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20WATERMARK.pdf Sahdan, Mohd Zainizan (2004) Mask design, fabrication and test NMOS transistor. Masters thesis, Kolej Universiti Teknologi Tun Hussein Onn.
spellingShingle TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering
TK7800-8360 Electronics
Sahdan, Mohd Zainizan
Mask design, fabrication and test NMOS transistor
thesis_level Master
title Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_full Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_fullStr Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_full_unstemmed Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_short Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_sort mask design fabrication and test nmos transistor
topic TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering
TK7800-8360 Electronics
url http://eprints.uthm.edu.my/7682/
work_keys_str_mv AT sahdanmohdzainizan maskdesignfabricationandtestnmostransistor

Similar Items