Development Of 3D Microstructures By Using Grayscale Photolithographic Technique

Perkembangan pesat teknologi seperti bio-chip, peranti pendalir mikro, peranti mikro-optik dan sistem mikro elektro-mekanikal (MEMS) memerlukan keupayaan membina struktur tiga dimensi (3D) yang kompleks di skala mikro. Bagi membina struktur 3D di skala mikro, kebiasaannya beberapa topeng cahaya digu...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

المؤلف الرئيسي:	Lee , Tze Pin
التنسيق:	أطروحة
اللغة:	الإنجليزية
منشور في:	2016
الموضوعات:	T Technology TJ1-1570 Mechanical engineering and machinery
الوصول للمادة أونلاين:	http://eprints.usm.my/41609/