Development Of 3D Microstructures By Using Grayscale Photolithographic Technique
Perkembangan pesat teknologi seperti bio-chip, peranti pendalir mikro, peranti mikro-optik dan sistem mikro elektro-mekanikal (MEMS) memerlukan keupayaan membina struktur tiga dimensi (3D) yang kompleks di skala mikro. Bagi membina struktur 3D di skala mikro, kebiasaannya beberapa topeng cahaya digu...
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Thèse |
| Langue: | anglais |
| Publié: |
2016
|
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | http://eprints.usm.my/41609/ |