Development Of 3D Microstructures By Using Grayscale Photolithographic Technique

Perkembangan pesat teknologi seperti bio-chip, peranti pendalir mikro, peranti mikro-optik dan sistem mikro elektro-mekanikal (MEMS) memerlukan keupayaan membina struktur tiga dimensi (3D) yang kompleks di skala mikro. Bagi membina struktur 3D di skala mikro, kebiasaannya beberapa topeng cahaya digu...

詳細記述

書誌詳細

第一著者:	Lee , Tze Pin
フォーマット:	学位論文
言語:	英語
出版事項:	2016
主題:	T Technology TJ1-1570 Mechanical engineering and machinery
オンライン･アクセス:	http://eprints.usm.my/41609/