Development Of 3D Microstructures By Using Grayscale Photolithographic Technique

Perkembangan pesat teknologi seperti bio-chip, peranti pendalir mikro, peranti mikro-optik dan sistem mikro elektro-mekanikal (MEMS) memerlukan keupayaan membina struktur tiga dimensi (3D) yang kompleks di skala mikro. Bagi membina struktur 3D di skala mikro, kebiasaannya beberapa topeng cahaya digu...

पूर्ण विवरण

ग्रंथसूची विवरण

मुख्य लेखक:	Lee , Tze Pin
स्वरूप:	थीसिस
भाषा:	अंग्रेज़ी
प्रकाशित:	2016
विषय:	T Technology TJ1-1570 Mechanical engineering and machinery
ऑनलाइन पहुंच:	http://eprints.usm.my/41609/