Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H)
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Thesis |
| 出版: |
2004
|
| 主题: |
| _version_ | 1846216071976058880 |
|---|---|
| author | Marwoto, Putut |
| author_facet | Marwoto, Putut |
| author_sort | Marwoto, Putut |
| format | Thesis |
| id | uthm-32368 |
| institution | Universiti Teknologi Malaysia |
| publishDate | 2004 |
| record_format | eprints |
| spelling | uthm-323682017-08-02T07:25:31Z http://eprints.utm.my/32368/ Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) Marwoto, Putut T Technology (General) 2004 Thesis NonPeerReviewed Marwoto, Putut (2004) Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H). PhD thesis, Universiti Teknologi Malaysia, Faculty of Science. |
| spellingShingle | T Technology (General) Marwoto, Putut Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
| title | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
| title_full | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
| title_fullStr | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
| title_full_unstemmed | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
| title_short | Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
| title_sort | pembangunan reaktor dc pecvd dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen a c h |
| topic | T Technology (General) |
| url-record | http://eprints.utm.my/32368/ |
| work_keys_str_mv | AT marwotoputut pembangunanreaktordcpecvddankajianstrukturfilemtipiskarbonamorfusterhidrogenach |